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【產業新訊】上銀特別獎論文 摘要搶先看 2015-06-17

【台中訊】

被譽為機械業「諾貝爾獎」的「上銀機械碩士論文獎」,倍受國內機械業與學術界重視及讚譽,以下為今年科技大學特別獎及工具機與零組件特別獎得獎論文摘要。

科技大學特別獎—電致動力輔助化學機械平坦化製程應用於功能性晶圓平坦化之研究;研究生楊立晨,指導教授陳炤彰博士,學校:臺灣科技大學機械工程系所。利用外加偏壓能量於帄坦化製程中,發展一電致動力輔助化學機械帄坦化系統,透過外加偏壓於具更鑲嵌式電極拋光導電盤上產生電滲流,幫助拋光液中磨粒產生擾動,提高磨粒使用效率,並探討鑲嵌式電極間距及拋光墊加工孔洞對電滲流影響,將分析結果製作專用導電盤。

科技大學特別獎—疊紋式晶圓翹曲量測技術之開發;研究生蔡宇軒,指導教授謝宏麟博士,學校:臺灣科技大學機械工程系所。提出新式晶圓翹曲量測技術,用以即時偵測待測晶圓的翹曲值。以疊紋橫移理論、數位疊紋術及自動準直儀為主要設計概念,其量測架構簡單且架設容易。可直接架設於MOCVD腔體外,具有高量測解析度、高穩定度及高可調性。

科技大學特別獎—氫氧基磷灰石燒結與電漿噴塗靶材之薄膜濺鍍製程與表面性質研究;研究生賴泓成,指導教授馮慧平博士、洪國永博士,學校:明志科技大學機械與機電工程。以熱均壓法、冷壓燒結法及電漿噴塗法製作氫氧基磷灰石濺鍍靶材,並利用射頻濺鍍技術沉積HA薄膜,旨在開發鈦牙植體SLA-like與HA濺鍍薄膜複合表面處理技術,結果顯示HA薄膜於牙峰及牙谷厚度,量測厚度分別下降20%及40%。

工具機與零組件特別獎—垂直式滾珠螺桿表面溫度與磨屑特性分析研究;研究生李奇霖,指導教授洪政豪博士、陳新郁博士,學校:虎尾科技大學機械與機電工程所。藉垂直式滾珠螺桿摩擦熱傳遞分析微觀波峰接觸溫度與巨觀表面平均溫度變化,並藉大小兩種不同滾珠螺桿實驗量測表面溫度與磨損顆粒成分驗證上述兩種溫度的正確性。理論與實驗結果顯示,垂直式螺桿機台螺桿表面溫度主要為螺桿、螺帽與滾珠間的摩擦熱產生,兩種不同型式螺桿表面平均溫度理論分析與實驗量測值變化趨勢一致,誤差低於7%。(戴辰)

【2015-06-17/經濟日報/C8版/自動化周報】

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